2009年台积电设备支出达45亿美元
据台积电向台湾证券交易所（TSE）递交的文件，台积电2009年的设备支出达1450亿新台币（约合45.7亿美元），其竞争对手联电的支出为220亿新台币。
台积电向Applied Materials订购了280亿新台币的设备，向ASML订购了240亿新台币的设备，向TEL、Dainippon Screen和KLA-Tencor订购了100亿新台币的设备。这些主要的设备商几乎占了台积电设备支出的70%。
台积电预计将于2010年第一季度开始28nm低功耗工艺的试产，并在第二季度和第三季度开始28nm高性能工艺的试产。
